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本发明实施例涉及一种用于孔加工的化学气相沉积装置及方法，用于孔加工的化学气相沉积装置包括：装置腔体、若干加热丝和绕丝机构。本发明实施例所提供的用于孔加工的化学气相沉积装置及方法，能够将预加工有孔的半导体工件置于装置腔体内，利用若干的加热丝对...
该专利属于新美光（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新美光（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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