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透明导电性薄膜的制造方法技术
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文档序号:41328669
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提供适于抑制透明导电层的由加热所引起的电阻值上升的透明导电性薄膜的制造方法。本发明的透明导电性薄膜的制造方法为制造沿厚度方向(H)依次具备长条的基材薄膜(10)和透明导电层(20)的透明导电性薄膜(X)的方法。该制造方法包括成膜工序。成膜工...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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