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工艺推定装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:41288381
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一种工艺推定装置及方法,能够推定可更稳定制造的工艺。工艺推定装置具备:回归模型制作处理部,在经过多个制造工序制造产品时,将除最初的制造工序以外的规定制造工序设定为作为工艺的推定对象的对象工序,至少对被处理物数据、处理物数据、装置状态数据以及...
该专利属于株式会社博迈立铖所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社博迈立铖授权不得商用。
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