下载一种宽频带亚毫米波介电谱测试芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:41278253

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本发明公开了一种宽频带亚毫米波介电谱测试芯片及制备方法,属于介电谱测试技术领域。其中宽频带亚毫米波介电谱测试芯片包括:测试芯片本体和与所述测试芯片本体配套设置的若干Multiline‑TRL校准件;其中,所述测试芯片本体包括:衬底,所述衬底...
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