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本申请涉及半导体技术领域，具体公开一种打磨装置，所述打磨装置用于对外延生长装置中的石墨配件进行打磨；所述打磨装置包括电机固定座、打磨电机、打磨头以及打磨平台；所述打磨电机固定于所述电机固定座，打磨头连接于所述打磨电机的输出轴，所述打磨头随所...
该专利属于希科半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过希科半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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