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文档序号:41277089
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一种激光退火方法包括:从多个峰的多个强度中选择参考强度,其中,参考强度用于确定激光退火期间激光照射的脉冲形状;通过将多个峰当中的具有最小峰出现时间的第一峰的相对于参考强度的强度比设定为小于大约百分之100来设定脉冲形状;以及将具有脉冲形状的...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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