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本发明属于柔性电子领域，涉及一种小特征尺寸高灵敏度柔性电容式接近传感器及其制备方法。结构上包括上封装绝缘层、环形银纳米线薄膜电极、柔性电介质层、圆形银纳米线薄膜电极和下封装绝缘层。本发明通过简单的溶液刻蚀工艺对银纳米线薄膜进行图案化，在柔性...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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