下载一种晶棒划线机及划线方法的技术资料

文档序号:41258044

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本申请公开了一种晶棒划线机及划线方法,该晶棒划线机包括承载装置、检测装置和划线打标装置,其中:承载装置至少被配置为承载待划线的晶棒以及驱动待划线的晶棒旋转,晶棒沿第一方向延伸;检测装置至少包括直径检测装置和视觉检测装置,直径检测装置被配置为...
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