下载一种具有变K介质的高可靠器件结构的技术资料

文档序号:41246792

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本发明属于功率半导体技术领域,涉及一种具有变K介质的高可靠器件结构,该器件包括依次层叠设置的衬底层、SOI介质层和顶层硅。所述的顶层硅包括第二导电类型漂移区、第一导电类型阱区、位于器件表面的多晶硅栅与栅氧化层。当SOI介质层中使用变K介质,...
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