温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种热电堆红外传感器及其制造方法，所述热电堆红外传感器包括MEMS单元，所述MEMS单元包括：多个热电偶，每个热电偶包括热结端和冷结端，各所述热电偶串联连接形成热电堆；红外吸收层，覆盖各所述热电偶，所述红外吸收层为包括硅氧化物和硅...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。