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本技术公开了一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，涉及原子层沉积设备技术领域。本技术包括沉积腔，沉积腔为圆形管状结构，沉积腔的顶端设置有上盖板，沉积腔的侧壁面固定安装有与沉积腔内部相连通的真空泵，沉积腔的侧壁面固定安装有两个相互对称的安装板，...
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