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本发明公开了一种电子级五氯化磷连续合成工艺，包括：三氯化磷原料连续输送至脱轻塔中或先输送进入三氯化磷冷却器与经过精制的高纯度液态三氯化磷进行换热，再进入脱轻塔；脱轻塔塔釜液输送至精制塔，精制塔塔顶气相经脱轻塔再沸器、精制塔顶冷凝器冷凝得到高...
该专利属于南京佳华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京佳华科技股份有限公司授权不得商用。

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