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本技术公开了一种原子层沉积设备用通风结构，涉及通风结构技术领域。本技术包括机体，所述机体的侧壁上固定安装有联通壳体，所述联通壳体与机体上安装零部件的内部相连通，且联通壳体的侧壁上固定安装有通风管，所述通风管与联通壳体相连通设置，所述通风管的...
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