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一种蒸发真空设备生产线制造技术
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文档序号:41217610
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本发明公开了一种蒸发真空设备生产线,包括依次相连的上料平台、进料腔体、第一缓冲腔体、工艺镀膜腔体、第二缓冲腔体、出料腔体和卸料平台;所述工艺镀膜腔体中设置有蒸发源,所述进料腔体和出料腔体的两侧设置有闸阀,各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形...
该专利属于浙江晟霖益嘉科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晟霖益嘉科技有限公司授权不得商用。
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