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一种基于金刚石/AlScN异质结的日盲紫外探测器及其制备方法技术
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下载一种基于金刚石/AlScN异质结的日盲紫外探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:41216453
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本发明公开了一种基于金刚石/AlScN异质结的日盲紫外探测器,包括衬底层、缓冲层、异质结和接触电极,异质结由金刚石层和AlScN铁电材料层构造形成,本发明构造的异质结,超宽禁带的金刚石材料作为容纳二维电子气的沟道层,其另一侧的势垒层使用Al...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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