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本发明公开了一种半导体洁净厂房用监测设备及监测方法，涉及监测设备领域。一种半导体洁净厂房用监测设备，包括四向穿梭车，所述四向穿梭车上开设有放置槽，还包括：浓度检测机，安装在所述放置槽内；固定板框，安装在所述四向穿梭车的一侧；本发明相较于传统...
该专利属于苏州庶有成自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州庶有成自动化设备有限公司授权不得商用。

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