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公开了具有金属‑绝缘体‑金属(MIM)电容器的设备和用于制造该设备的方法。该MIM电容器包括：多个沟槽，该多个沟槽在硅(Si)基板中；多孔Si表面，该多孔Si表面形成在该多个沟槽中，其中该多孔Si表面具有在该多个沟槽的侧壁和底部上的不规则表...
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