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本发明公开了一种电极板及其设计加工方法、加工设备，涉及等离子体设备技术领域，本发明的电极板的设计加工方法，包括提供板体并在板体上确定多个通气孔的预设位置，多个预设位置呈环形图案设置在板体上；设计加工轨迹:将板体表面划分为n个扇形区，m个环形...
该专利属于新美光（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新美光（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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