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本发明的目的在于能通过考虑刷子的面内的压力分布，而提高衬底的面内的清洁度的均一性。本发明涉及一种刷子及具备所述刷子的衬底处理装置以及刷子的推压力控制方法。控制部以基于面内压力分布检测部(SPD)的压力分布，根据衬底的径向上的刷子(99)的位...
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