下载磁存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:41200961

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本公开提供一种磁存储器及其制作方法,涉及半导体技术领域,用于解决同一掩膜版下无法获得任意尺寸/长宽比隧道结的技术问题。该制备方法通过形成磁隧道结堆叠层、第一掩膜层和多个掩膜柱,且每个掩膜柱包括依次叠置的第一分层和第二分层,再各向同性刻蚀掩膜...
该专利属于致真存储(北京)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过致真存储(北京)科技有限公司授权不得商用。

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