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本发明公开了一种分体式超精密气体静压轴系。三个轴向支撑架和三个径向支撑架安装于底盘套，相位为６０°，设计工字圆柱形或纺锤形转轴连接转台，下端可用于连接电机等驱动部件，每个轴向支撑架上均装有一组轴向气浮块，共装有三组轴向气浮块，每组两块分别置...
该专利属于中国计量学院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量学院授权不得商用。

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