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本发明提供一种全彩堆叠MicroLED芯片及其制作方法,该全彩堆叠MicroLED芯片的制作方法包括:制作蓝绿光双色LED晶圆和制作红光单色LED晶圆;在蓝绿光双色LED晶圆上形成第一电极层,在制作红光单色LED晶圆上形成第二电极层;将第一...该专利属于星钥(珠海)半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过星钥(珠海)半导体有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种全彩堆叠MicroLED芯片及其制作方法,该全彩堆叠MicroLED芯片的制作方法包括:制作蓝绿光双色LED晶圆和制作红光单色LED晶圆;在蓝绿光双色LED晶圆上形成第一电极层,在制作红光单色LED晶圆上形成第二电极层;将第一...