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本发明涉及半导体行业中真空机械手技术，主要应用于运动学、动力学、基于动力学的轨迹控制技术领域，具体说是一种基于动力学的真空机械手轨迹规划和运动控制方法。利用SCARA结构模型对直驱型真空机械手运动学模型进行简化，简化得到的运动学方程与之前相...
该专利属于沈阳新松半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳新松半导体设备有限公司授权不得商用。

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