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本发明公开了一种一体式掩膜基板脱水干燥设备，包括进料线、出料线和工作台，所述工作台连通进料线和出料线，所述工作台上设置脱水夹持件，所述脱水夹持件的位置与进料线的进料夹持件和出料线的出料夹持件分别对应，所述脱水夹持件的两侧设置IPA气体喷嘴，...
该专利属于长沙韶光芯材科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙韶光芯材科技有限公司授权不得商用。

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