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本发明提供了一种双层嵌套光路调整隔振装置，包括上层结构、下层结构和减振座，在上层结构的下表面设有转盘，在上层结构的左右两侧分别设有第一连接板；在下层结构上设有与转盘相适配的转盘凹槽，上层结构安装于下层结构上，以使转盘可转动的嵌套于转盘凹槽内...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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