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本申请提供了一种贴膜装置，其包括：工作台，其上形成有作业区域；在工作台上设置有辅助单元、卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于卷放单元和第一卷收单元之间、且位于作业区域上方的压合单元；辅助单元设置于工作台内部，包括用于承载晶圆升降以进出...
该专利属于广东思沃先进装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东思沃先进装备有限公司授权不得商用。

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