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本发明公开了一种高效的活塞环PVD真空镀膜设备及其工艺，本发明涉及镀膜设备技术领域，包括罐体，旋转式放置机构包括安装固定在罐体内表面底部的升降柱，升降柱的输出端固定连接有伺服电机，伺服电机的输出端固定连接有工作台，工作台的顶部边缘位置开设有...
该专利属于华闽南配集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华闽南配集团股份有限公司授权不得商用。

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