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一种双栅极结构的SIC芯片制造技术
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下载一种双栅极结构的SIC芯片的技术资料
文档序号:41149436
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本技术提供了一种双栅极结构的SIC芯片,属于SIC芯片技术领域,该双栅极结构的SIC芯片包括长条形的基岛,基岛的正表面上键合有MOSFET裸芯;MOSFET裸芯包括硅基体,硅基体的上下分别相对设置第一表面和第二表面;第一表面上设置有源极、栅...
该专利属于青岛佳恩半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛佳恩半导体有限公司授权不得商用。
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