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本发明涉及清灰技术领域,公开一种单晶炉真空管道真空清灰装置,包括真空管道,真空管道上预制有清灰管,清灰管端部的连接法兰上设有真空清灰机构,所述真空清灰机构包括密封固定在法兰上的主连接板,主连接板上套接有中心杆,中心杆穿过清灰管伸入到真空管道...该专利属于绍兴赛致捷机电设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过绍兴赛致捷机电设备有限公司授权不得商用。
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