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本申请涉及一种具有快拆电极板的等离子体清洗腔，包括腔体和门板，门板枢接于腔体上可闭合形成封闭的内腔；腔体内部设有第一电极板、第二电极板、托板和第一电极连接板，托板竖直设于腔体的内腔两侧壁上，两个托板的相对侧均设有相互对应的水平方向的多个凹槽...
该专利属于深圳市嘉铭半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市嘉铭半导体科技有限公司授权不得商用。

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