下载脆材基板划刻器及划刻和断开系统的技术资料

文档序号:4106145

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本发明涉及脆材基板划刻器及划刻和断开系统。脆性材料基板抛光装置用于在由划刻器划刻后的脆性材料基板已经被分离开之后对分离开的脆性材料基板的侧边缘进行抛光。为了处理在用于平板显示器的划刻和断开系统中使用的大尺寸基板,断开步骤被省除,并且所述划刻...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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