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本发明公开了一种晶圆抓取装置，涉及晶圆搬运技术领域，包括：传感器模块、晶圆抓取爪及基座；所述晶圆抓取爪固定于所述基座上，所述传感器模块包括晶圆图形检测装置，所述晶圆图形检测装置设置于所述晶圆抓取爪背离所述基座的一侧，用于对晶圆盒内部的晶圆存...
该专利属于上海大族富创得科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海大族富创得科技股份有限公司授权不得商用。

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