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光子结构制造技术
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文档序号:40984166
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本公开提供了光子结构的实施例,光子结构包括位于衬底上的环形光波导;被配置为将光耦合到环形光波导中的轨道光波导;以及被配置在环形光波导和轨道光波导周围的增强部件,以增强光子结构。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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