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本申请的实施例提供了一种光刻方法，包括：提供设置有第一金属结构层和第二金属结构层的一衬底；执行循环过程直至在第二金属结构层上堆垛设定数量的金属结构层，循环过程包括：在衬底上涂光刻胶，得到光刻胶层；对涂光刻胶后的衬底进行前烘，在前烘中，重复多...
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