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本发明提供了一种半导体处理用基座和半导体处理设备，半导体处理用基座包括底座、若干载具和导向部。底座顶面设置沿底座轴向延伸的导向部，使得导向部能够贯穿具有贯通孔的待处理物，若干载具设于底座顶面并围绕导向部间隔排布，载具顶面包括承托面，各承托面...
该专利属于楚赟精工科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟精工科技（上海）有限公司授权不得商用。

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