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本技术碳化硅外延反应器便捷清洁装置，包括主箱体和吸尘机；主箱体设置有上清洁腔和下支撑架，上清洁腔对应设置有正面可升降式透明门幕；正面可升降式透明门幕上开设有左右对称式手套孔；正面可升降式透明门幕下拉后对应上清洁腔形成清洁用的、封闭的微环境。...
该专利属于中环领先半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中环领先半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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