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本发明提供了一种用于晶圆传送的机械臂装置、晶圆传送装置和清洗设备。该机械臂装置包括：机械臂支撑部，用于支撑多个机械臂；机械臂控制部，用于控制所述多个机械臂的移动；以及M个机械臂，沿Z轴方向间隔地设置在所述机械臂支撑部上，相邻的机械臂之间沿所...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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