下载一种硅基柔性悬膜及其制备方法的技术资料

文档序号:40901122

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本发明公开了一种硅基柔性悬膜及其制备方法,属于MEMS制造技术领域,包括硅晶圆和柔性电极,所述柔性电极与硅晶圆通过胶键合连接;所述柔性电极包括柔性衬底和单层导电层或柔性衬底和多层导电层、介电层。本发明通过单端固支电极或双端固支电极,与硅片相...
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