下载一种单晶硅片清洗装置的技术资料

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本技术公开了单晶硅片技术领域的一种单晶硅片清洗装置,包括装置组件,其包括装置主体,所述装置主体的上方连接有支板,所述支板的下方内侧设置有电动推杆,所述电动推杆的下方连接有放置板;限位机构,其包括联动块,所述联动块的上方开设有滑动槽,所述滑动...
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