下载一种太阳能级硅晶体的热处理方法的技术资料

文档序号:4088899

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种太阳能级硅晶体的热处理方法,将硅晶体置入真空加热炉内,在硅晶体的热处理过程中,将保护气体通入真空加热炉内并流经硅晶体表面,所述的保护气体为:a)含氢原子的气体;或b)含氢原子的气体与惰性气体的混合物。采用本发明方法对硅晶体进...
该专利属于浙江碧晶科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江碧晶科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。