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本技术提供了一种光感测系统及晶圆机台，包括：红外发射装置、红外接收装置以及报警装置；红外发射装置和红外接收装置活动地安装于晶圆传输室内靠近晶圆装载开口的一端，且分别位于晶圆装载开口的相对两侧；晶圆承载台承载有晶圆盒，晶圆盒安装于晶圆装载开口...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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