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公开了一种入口组件、减排装置和方法。入口组件用于减排装置，减排装置用于处理来自半导体加工工具的排出流，入口组件包括：入口喷嘴，其被配置成将排出流输送到减排装置的燃烧室中；以及试剂喷嘴，其被配置成将试剂输送到减排装置的燃烧室中，试剂喷嘴相对于...
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