温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例提供了一种探测基板、其制作方法及平板探测器，通过将第二绝缘层设置在有源层和有源掺杂层之间，且第二绝缘层在衬底基板上的正投影覆盖有源层的沟道区在衬底基板上的正投影，这样在采用刻蚀工艺制作有源掺杂层时，第二绝缘层可以作为刻蚀阻挡层保...
该专利属于北京京东方传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方传感技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。