温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种wafer定位升降装置，本发明公开了一种wafer定位升降装置，本发明涉及半导体技术领域，通过伺服电机控制丝杆于竖直方向运动的方式达到精准控制晶圆上下运动的目的。该机构由以往设计的控制丝杆旋转的模式改进为控制丝杆在竖直方向运...
该专利属于上海悦匠实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海悦匠实业有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。