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本申请公开了一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜及其制备方法与应用，涉及薄膜材料技术领域。本申请通过采用特定生长温度的直流磁控溅射工艺制备氧化钆掺杂氧化铈层，并在直流磁控溅射工艺结束后在特定的气体气氛中进行第一次退火和第二次退火，有效改善了氧化钆掺杂...
该专利属于广东先导稀材股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导稀材股份有限公司授权不得商用。

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