下载一种逆导IGBT半导体器件及制备方法的技术资料

文档序号:40818767

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本发明涉及半导体技术领域中的一种逆导IGBT半导体器件及制备方法,包括漂移层结构、阴极结构和栅极结构,阴极结构与栅极结构均设置在漂移层结构上,漂移层结构上嵌入设置有PT阳极沟槽栅、第一阳极区、第二阳极区和PR阳极区,其中,PT阳极沟槽栅、第...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

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