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本技术提供了一种晶圆减薄打磨装置，涉及晶圆打磨技术领域，包括底板、支撑架、转盘和打磨机构，所述底板的上端面中心固定有安装座，且安装座上安装有第一电机，第一电机外套置有防护罩，所述第一电机的上端设置有第一转轴，且第一转轴的上端固定在转盘的下部...
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