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一种基于铌酸锂薄膜的微环谐振腔及制备方法技术
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下载一种基于铌酸锂薄膜的微环谐振腔及制备方法的技术资料
文档序号:40755712
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本发明提供了一种基于铌酸锂薄膜的微环谐振腔,包括衬底,在所述衬底上制备二氧化硅层;二氧化硅层上制备铌酸锂薄膜,铌酸锂薄膜刻蚀脊型环形波导和脊型直波导。本发明利用铌酸锂薄膜材料,采取微环谐振腔,结合非线性效应搭建光频梳激发系统,提高泵浦‑光孤...
该专利属于北京信息科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京信息科技大学授权不得商用。
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