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本技术公开了硅片表面缺陷技术领域的一种单晶硅片表面平整度检测装置，包括装置组件，其包括装置主体，所述装置主体的中心设置有传输带，所述传输带的两侧连接有传动轴，所述传动轴的一侧套有连接皮带，所述连接皮带的另一侧套有连接杆；夹持组件，其包括驱动...
该专利属于扬州六如新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州六如新能源科技有限公司授权不得商用。

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