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一种体声波谐振器及其制备方法技术
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文档序号:40711086
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本申请公开了一种体声波谐振器及其制备方法,涉及谐振器技术领域,本申请的体声波谐振器,包括衬底以及依次设置于衬底上的绝缘层和压电层,压电层的上表面和下表面上分别设置第一叉指电极和第二叉指电极,第一叉指电极和第二叉指电极在衬底上的投影重叠,且第...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。
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